教員紹介

石塚 眞治

ISHIDZUKA Shinji
物質・生物系 マテリアル・プロセス工学コース 准教授・博士(理学)
授業担当科目
有機化学 機器分析 量子力学 他
所属学会・協会
応用物理学会、日本化学会
専門分野とこれまでの研究
超高真空中にて、加熱したシリコン表面にアンモニアやエチレンガスなどを反応させ、その表面をオージェ電子分光(AES)やX線光電子分光(XPS)、走査電子顕微鏡(SEM)、トンネル電子顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)などの手法で測定し、表面での化学反応や、表面に形成される窒化物、炭化物の形成・成長機構の解明を行ってきました。
現在はシリコン表面、金属表面の酸化反応、窒化反応の機構や極薄酸化膜、窒化膜の成長機構を解明する研究しております。
現在の研究テーマ
1. 金属チタン表面での極薄酸化膜・窒化膜形成機構の解明
2. 窒化物形成および成長機構の解明
技術相談に応じられるキーワード
1. 表面反応
2. 化学蒸着
3. 電子分光
4. 表面組成解析
5. 表面形状解析


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